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MEMS领域中形状记忆合金薄膜的研究与进展

来源期刊：材料导报2006年第2期

论文作者：章磊吴建生谢超英

关键词：微机电系统; 形状记忆合金薄膜; 力学性能;

摘要：总结了近年来微机电系统(MEMS)领域中,ti-Ni形状记忆合金(SMA)薄膜的制备与微加工工艺、形状记忆性能、加工性能、防腐耐磨性能及力学性能的研究进展,由此提出了MEMS领域中,SMA薄膜的使用要求和研究方向.

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章磊¹，吴建生¹，谢超英¹

(1.上海交通大学材料科学与工程学院教育部高温材料及测试重点实验室,上海,200030)

摘要:总结了近年来微机电系统(MEMS)领域中,ti-Ni形状记忆合金(SMA)薄膜的制备与微加工工艺、形状记忆性能、加工性能、防腐耐磨性能及力学性能的研究进展,由此提出了MEMS领域中,SMA薄膜的使用要求和研究方向.

关键词:微机电系统; 形状记忆合金薄膜; 力学性能;

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