斜切基片上台阶流动生长的YBCO薄膜及BST/YBCO双层薄膜
来源期刊：稀有金属材料与工程2006年第4期
论文作者：漆汉宏 王天生 李林 田永君 彭炜
关键词：YBa2Cu3O7-δ超导薄膜; Ba0.1Sr0.9TiO3/YBa2Cu3O7-δ异质结构; 外延生长; 脉冲激光沉积;
摘 要：用脉冲激光沉积法在斜切(001)SrTiO3单晶基片上生长了c轴取向的YBa2Cu3O7-δ超导薄膜,在斜切(001)LaAlO3单晶基片上生长了Ba0.1Sr0.9TiO3/YBa2Cu3O7-δ双层薄膜,并用扫描电镜和透射电镜对薄膜组织进行了表征.结果表明,在1°～3°斜切的SrTiO3基片上生长的YBa2Cu3O7-δ薄膜,呈现台阶流动(step flow)到三维岛状生长的转变;而6°～15°斜切基片上生长的YBa2Cu3O7-δ薄膜为完全台阶流动生长.在1.2°斜切的LaAlO3基片上原位制备了良好异质外延生长的Ba0.1Sr0.9TiO3/YBa2Cu3O7-δ双层薄膜.在77 K,1 MHz频率和±30 V直流偏压下,测定了其电容-电压特性,确定其介电常数、可调谐性和品质因数分别为1200,60%和133.表明该Ba0.1Sr0.9TiO3薄膜可应用于在液氮温度下工作的可调谐微波器件.
漆汉宏1，王天生1，李林2，田永君1，彭炜2
(1.燕山大学,亚稳材料制备技术与科学重点实验室,河北,秦皇岛,066004;
2.中国科学院物理研究所,超导国家重点实验室,北京,100080)
摘要:用脉冲激光沉积法在斜切(001)SrTiO3单晶基片上生长了c轴取向的YBa2Cu3O7-δ超导薄膜,在斜切(001)LaAlO3单晶基片上生长了Ba0.1Sr0.9TiO3/YBa2Cu3O7-δ双层薄膜,并用扫描电镜和透射电镜对薄膜组织进行了表征.结果表明,在1°～3°斜切的SrTiO3基片上生长的YBa2Cu3O7-δ薄膜,呈现台阶流动(step flow)到三维岛状生长的转变;而6°～15°斜切基片上生长的YBa2Cu3O7-δ薄膜为完全台阶流动生长.在1.2°斜切的LaAlO3基片上原位制备了良好异质外延生长的Ba0.1Sr0.9TiO3/YBa2Cu3O7-δ双层薄膜.在77 K,1 MHz频率和±30 V直流偏压下,测定了其电容-电压特性,确定其介电常数、可调谐性和品质因数分别为1200,60%和133.表明该Ba0.1Sr0.9TiO3薄膜可应用于在液氮温度下工作的可调谐微波器件.
关键词:YBa2Cu3O7-δ超导薄膜; Ba0.1Sr0.9TiO3/YBa2Cu3O7-δ异质结构; 外延生长; 脉冲激光沉积;
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