电泳沉积ZnO薄膜的制备和表征（英文）

来源期刊：稀有金属材料与工程2012年第S3期

论文作者：何新华 王斌 符小艺 廖少毅

文章页码：271 - 274

关键词：ZnO;电泳沉积;网状膜;层级结构;

摘    要：采用电泳沉积,在ITO玻璃基片上制备了多孔纳米晶片组成的网状ZnO薄膜。研究了工艺参数如电流密度和沉积时间对ZnC)前躯体薄膜的表面形貌和相组成的影响。结果表明,纳米片在低电流密度下水平覆盖在基片上,而在高电流密度下则垂直于基片排列形成均匀分布的网状膜。基于纳米片表面上电荷的分布提出了可能的形成机理。由于一些纳米片的聚集,增加沉积时间有助于花状微米球的形成。从胶体悬浮液中所沉积的薄膜主要由ZnO和Zn₄C3（OH）₆H₂O相组成,热处理后薄膜中的Zn₄C3（OH）₆H₂O相完全转变成ZnO。多孔纳米片的形成是由于Zn₄C3（OH）₆H₂O相分解释放了水和CO₂。热处理加强了ZnO薄膜的微纳米层级结构。