溶胶-凝胶ZrO2/SiO2双层减反膜（英文）
来源期刊：稀有金属材料与工程2010年第S2期
论文作者：李海元 熊怀 唐永兴 胡丽丽
文章页码：145 - 148
关键词：溶胶-凝胶;薄膜;ZrO2/SiO2;双层减反;
摘 要：以锆酸丙酯[Zr（OPr）4]、正硅酸乙酯（TEOS）为原料,用溶胶-凝胶提拉法涂膜,制备了高透过的λ/4-λ/4型ZrO2/SiO2双层减反膜。以锆酸丙酯为前驱体,乙酰丙酮为络合剂,在盐酸的催化条件下,于乙醇溶剂中水解制备ZrO2溶胶。ZrO2溶胶具有很好的稳定性。制备的双层减反膜具有很好的减反效果,在石英玻璃基片二面涂膜,在激光三倍频波长351nm处透过率达到99.41%,在BK-7光学玻璃基片上涂制的双减反层膜在基频波长1053nm处透过率达到99.63%。该减反膜的均方根粗糙度（RMS）为1.038nm。膜层具有较高的激光损伤阈值,在激光波长为1064nm,脉冲宽度为1ns时,ZrO2膜的激光损伤阈值为19.6J/cm2,双层减反膜的激光损伤阈值为16.8J/cm2。
李海元，熊怀，唐永兴，胡丽丽
中科院上海光学精密机械研究所高功率激光物理国家实验室
摘 要：以锆酸丙酯[Zr（OPr）4]、正硅酸乙酯（TEOS）为原料,用溶胶-凝胶提拉法涂膜,制备了高透过的λ/4-λ/4型ZrO2/SiO2双层减反膜。以锆酸丙酯为前驱体,乙酰丙酮为络合剂,在盐酸的催化条件下,于乙醇溶剂中水解制备ZrO2溶胶。ZrO2溶胶具有很好的稳定性。制备的双层减反膜具有很好的减反效果,在石英玻璃基片二面涂膜,在激光三倍频波长351nm处透过率达到99.41%,在BK-7光学玻璃基片上涂制的双减反层膜在基频波长1053nm处透过率达到99.63%。该减反膜的均方根粗糙度（RMS）为1.038nm。膜层具有较高的激光损伤阈值,在激光波长为1064nm,脉冲宽度为1ns时,ZrO2膜的激光损伤阈值为19.6J/cm2,双层减反膜的激光损伤阈值为16.8J/cm2。
关键词：溶胶-凝胶;薄膜;ZrO2/SiO2;双层减反;
