静电探针测量等离子体内参数
来源期刊：机械设计与制造1993年第6期
论文作者：冯玉国
摘 要：<正> 根据探针收集电子流的理论,提出电子流对探针电位的一次微商的最大值对应着等离子体电位,以一台微型计算机作为静电探针系统的核心,统一完成探针系统的控制,记录和计算工作,在两分钟之内可完成等离子体电位、悬浮电位、电子能量分布和电子密度的测量。
冯玉国
机械电子工业部沈阳真空技术研究所
摘 要：<正> 根据探针收集电子流的理论,提出电子流对探针电位的一次微商的最大值对应着等离子体电位,以一台微型计算机作为静电探针系统的核心,统一完成探针系统的控制,记录和计算工作,在两分钟之内可完成等离子体电位、悬浮电位、电子能量分布和电子密度的测量。
关键词：
