简介概要

Sol-Gel法制备PZT铁电薄膜新进展

来源期刊：材料科学与工艺2001年第4期

论文作者：姜兆华赵连城王福平于艳菊

关键词：PZT; 铁电; 薄膜; Sol-Gel;

摘要：从底电极的选择、过渡层的引入、外延膜的生长、取代阳离子的改性四个方面介绍了Sol-Gel法制备PZT铁电薄膜的研究进展,简述了PZT的Sol-Gel机理研究现状和引起PZT铁电薄膜极化疲劳的原因,分析了Sol-Gel法制备PZT铁电薄膜研究中存在的问题,并提出展望.

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姜兆华¹，赵连城²，王福平¹，于艳菊²

(1.哈尔滨工业大学应用化学系,;
2.哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,)

摘要:从底电极的选择、过渡层的引入、外延膜的生长、取代阳离子的改性四个方面介绍了Sol-Gel法制备PZT铁电薄膜的研究进展,简述了PZT的Sol-Gel机理研究现状和引起PZT铁电薄膜极化疲劳的原因,分析了Sol-Gel法制备PZT铁电薄膜研究中存在的问题,并提出展望.

关键词:PZT; 铁电; 薄膜; Sol-Gel;

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