无机盐先驱体溶胶-凝胶法制备Al2O3薄膜的研究
来源期刊：机械工程材料2002年第3期
论文作者：张勤河 胡玉景 毕进子 李敏 张代林 张建华 张勤俭 任升峰
关键词：无机盐先驱体; 溶胶-凝胶法; Al2O3薄膜; 界面;
摘 要：用无机盐先驱体,溶胶-凝胶工艺在氧化铝基工程陶瓷上成功制备了Al2O3薄膜.用差热分析(DTA)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、二次离子质谱(SIMS)等手段对Al2O3薄膜的物相组成、表面和断面形貌及界面结构进行了分析.结果表明:制备的薄膜完整,内部无明显的宏观缺陷;Al2O3晶粒均匀,主要物相为α-Al2O3;基体中的元素在薄膜中有明显的扩散,有助于提高界面结合强度.
张勤河1，胡玉景1，毕进子1，李敏2，张代林1，张建华1，张勤俭3，任升峰1
(1.山东大学机械工程学院,山东济南,250061;
2.国家电力公司电力建设研究所,北京,100055;
3.北京市电加工研究所,北京,100083)
摘要:用无机盐先驱体,溶胶-凝胶工艺在氧化铝基工程陶瓷上成功制备了Al2O3薄膜.用差热分析(DTA)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、二次离子质谱(SIMS)等手段对Al2O3薄膜的物相组成、表面和断面形貌及界面结构进行了分析.结果表明:制备的薄膜完整,内部无明显的宏观缺陷;Al2O3晶粒均匀,主要物相为α-Al2O3;基体中的元素在薄膜中有明显的扩散,有助于提高界面结合强度.
关键词:无机盐先驱体; 溶胶-凝胶法; Al2O3薄膜; 界面;
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