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CVD金刚石薄膜技术发展现状及展望(上)

来源期刊：超硬材料工程2012年第2期

论文作者：杨德威栗正新苑执中

文章页码：44 - 48

关键词：超纳米金刚石膜;CVD金刚石大单晶;综述;

摘要：简要描述了CVD金刚石薄膜技术的发展历程。介绍了纳米特别是超纳米金刚石膜、CVD金刚石大单晶的技术特点及其应用。超纳米金刚石膜在MEMS(微机电系统)、电化学和生物医学上的应用和CVD金刚石大单晶是当前的研究热点。简言之,金刚石的发展向着更大或者更小的方向深入进行,即"非大即小"。

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杨德威，栗正新，苑执中

河南工业大学材料科学与工程学院

关键词：超纳米金刚石膜;CVD金刚石大单晶;综述;