退火对二氧化钛薄膜光学性能的影响
来源期刊：绝缘材料2011年第6期
论文作者：王军 谢亚楠
文章页码：40 - 89
关键词：TiO2薄膜;溶胶-凝胶法;DTA分析;透射谱;
摘 要：采用改进的溶胶-凝胶（solgel）法在载玻片上制备了TiO2薄膜。对TiO2干凝胶粉末进行了差热分析（DTA）;用分光光度计测试了TiO2薄膜500℃退火前后的透射谱,采用"包络法"计算了TiO2薄膜的折射率、厚度和带隙。结果表明:当波长从700nm减小到400nm时,薄膜的折射率从1.465增加到1.485。退火前后TiO2薄膜的厚度分别为595.836nm和652.4547nm。未退火TiO2薄膜的光学带隙为3.85eV,500℃退火后TiO2薄膜的光学带隙为3.67eV。与未退火薄膜相比,500℃退火后TiO2薄膜的吸收边出现了"红移",光响应区范围变大,提高了可见光的利用率。
王军1,2，谢亚楠2
1. 江西科技师范学院江西省材料表面工程重点实验室2. 江西科技师范学院材料科学与工程学院
摘 要：采用改进的溶胶-凝胶（solgel）法在载玻片上制备了TiO2薄膜。对TiO2干凝胶粉末进行了差热分析（DTA）;用分光光度计测试了TiO2薄膜500℃退火前后的透射谱,采用"包络法"计算了TiO2薄膜的折射率、厚度和带隙。结果表明:当波长从700nm减小到400nm时,薄膜的折射率从1.465增加到1.485。退火前后TiO2薄膜的厚度分别为595.836nm和652.4547nm。未退火TiO2薄膜的光学带隙为3.85eV,500℃退火后TiO2薄膜的光学带隙为3.67eV。与未退火薄膜相比,500℃退火后TiO2薄膜的吸收边出现了"红移",光响应区范围变大,提高了可见光的利用率。
关键词：TiO2薄膜;溶胶-凝胶法;DTA分析;透射谱;
