下底层Ti引导制备Co-Pt垂直磁记录薄膜的研究
来源期刊：东北大学学报(自然科学版)2010年第10期
论文作者：肖娜 裴文利 赵骧 秦高梧
文章页码：1410 - 1413
关键词：Co-Pt合金;取向;Ti下底层;晶格常数;晶粒尺寸;
摘 要：在加热的玻璃基板上,通过磁控溅射的方法沉积金属Ti作为下底层,然后沉积不同成分的Co1-x-Ptx（x=0,15%,26%,35%）磁性薄膜.利用振动样品磁强计（VSM）和X射线衍射技术（XRD）分析了薄膜的磁性能和晶体结构.结果表明Pt原子分数对Co-Pt晶格常数有重要影响,随着Pt原子分数的增加,Co晶格常数（a,c）增大,从而减小Co-Pt与下底层Ti在（00.2）晶面之间的错配度,有利于c轴取向垂直膜面排列,获得了较好的磁性能.引入Ti和SiO2共溅射制备下底层,研究发现随着SiO2体积分数的增加,Co-Pt薄膜的垂直磁性能得到改善.
肖娜，裴文利，赵骧，秦高梧
东北大学材料各向异性与织构教育部重点实验室
摘 要：在加热的玻璃基板上,通过磁控溅射的方法沉积金属Ti作为下底层,然后沉积不同成分的Co1-x-Ptx（x=0,15%,26%,35%）磁性薄膜.利用振动样品磁强计（VSM）和X射线衍射技术（XRD）分析了薄膜的磁性能和晶体结构.结果表明Pt原子分数对Co-Pt晶格常数有重要影响,随着Pt原子分数的增加,Co晶格常数（a,c）增大,从而减小Co-Pt与下底层Ti在（00.2）晶面之间的错配度,有利于c轴取向垂直膜面排列,获得了较好的磁性能.引入Ti和SiO2共溅射制备下底层,研究发现随着SiO2体积分数的增加,Co-Pt薄膜的垂直磁性能得到改善.
关键词：Co-Pt合金;取向;Ti下底层;晶格常数;晶粒尺寸;
