金刚线切割多晶硅片表面减反射绒面的制备

来源期刊：材料科学与工程学报2019年第6期

论文作者：刘友博 李利凯 汪雷 杨德仁

文章页码：867 - 870

关键词：金刚线切割多晶硅片;减反射;线痕;酸雾腐蚀;

摘    要：为解决金刚线切割多晶硅片表面制绒的问题,提出了一种创新的两步腐蚀制备硅表面陷光结构的方法。先以浓硫酸作为添加剂去除表面线痕,然后通过酸雾腐蚀法获得一种微米纳米复合的多孔陷光结构。样品在300～1100nm波长范围内的平均光反射率被降至8.6%,减反射效果优良,少子寿命提升0.6μs以上。此方法具有操作简单,无需复杂设备,成本低等优点,易实现工业化生产。