金属有机沉积法制备La2CuMnO6缓冲层薄膜及其结构表征
来源期刊：材料导报2012年第16期
论文作者：张国防 卢亚峰 李成山 闫果
文章页码：106 - 109
关键词：金属有机沉积;La2CuMnO6缓冲层;制备及结构表征;
摘 要：利用热重分析（TG）对化学溶液法前驱体混合物的热分解过程进行研究,确定了预分解温度;利用X射线衍射（XRD）和原子力显微镜（AFM）对金属有机沉积法（MOD）合成的La2CuMnO6薄膜的相组成和形貌结构进行了表征。结果表明,选择合适的前驱体La（CH3COO）3.1.5H2O、Cu（CH3COO）2.1.0H2O、Mn（CH3COO）2.4.0H2O,在1000℃、保温时间3h、SrTiO3（STO）（100）、Ar-4%H2气氛及总离子浓度1.0mol/L的工艺条件下制备的La2CuMnO6薄膜具有很好的c轴织构,薄膜表面较平整、均匀、无裂纹、无孔洞,分布均匀且排列致密,完全满足缓冲层对薄膜的要求。
张国防2，卢亚峰3，李成山3，闫果3
2. 陕西师范大学化学与材料科学学院应用表面与胶体化学教育部重点实验室3. 西北有色金属研究院
摘 要：利用热重分析（TG）对化学溶液法前驱体混合物的热分解过程进行研究,确定了预分解温度;利用X射线衍射（XRD）和原子力显微镜（AFM）对金属有机沉积法（MOD）合成的La2CuMnO6薄膜的相组成和形貌结构进行了表征。结果表明,选择合适的前驱体La（CH3COO）3.1.5H2O、Cu（CH3COO）2.1.0H2O、Mn（CH3COO）2.4.0H2O,在1000℃、保温时间3h、SrTiO3（STO）（100）、Ar-4%H2气氛及总离子浓度1.0mol/L的工艺条件下制备的La2CuMnO6薄膜具有很好的c轴织构,薄膜表面较平整、均匀、无裂纹、无孔洞,分布均匀且排列致密,完全满足缓冲层对薄膜的要求。
关键词：金属有机沉积;La2CuMnO6缓冲层;制备及结构表征;
