医用TiNi合金表面等离子体沉积梯度DLC膜及抗腐蚀性能
来源期刊：功能材料2007年第1期
论文作者：齐民 郑斌 徐军
关键词：类金刚石膜; TiNi形状记忆合金; 抗腐蚀性能;
摘 要：采用双放电腔MW-ECR等离子体源增强磁控溅射和沉积技术,在TiNi合金表面成功地镀制了梯度DLC膜.拉曼光谱分析表明实验获得的薄膜是典型的DLC膜,其结构受梯度层工艺影响.采用原子力显微镜(AFM)观察了薄膜的表面形貌,结果显示其表面较为平整.在Troyde's模拟体液中的电化学腐蚀实验结果说明,梯度DLC膜显著地增强了TiNi合金基体的抗腐蚀能力.从示差扫描量热仪(DSC)结果看到表面改性没有明显影响TiNi合金基体的使用性能.
齐民1，郑斌1，徐军1
(1.大连理工大学,三束材料表面改性国家重点实验室,辽宁,大连,116024;
2.大连理工大学,材料科学与工程学院,辽宁,大连,116024)
摘要:采用双放电腔MW-ECR等离子体源增强磁控溅射和沉积技术,在TiNi合金表面成功地镀制了梯度DLC膜.拉曼光谱分析表明实验获得的薄膜是典型的DLC膜,其结构受梯度层工艺影响.采用原子力显微镜(AFM)观察了薄膜的表面形貌,结果显示其表面较为平整.在Troyde''s模拟体液中的电化学腐蚀实验结果说明,梯度DLC膜显著地增强了TiNi合金基体的抗腐蚀能力.从示差扫描量热仪(DSC)结果看到表面改性没有明显影响TiNi合金基体的使用性能.
关键词:类金刚石膜; TiNi形状记忆合金; 抗腐蚀性能;
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