以丙烯为碳源气的热解炭的制备及其沉积机理分析

来源期刊：材料导报2010年第24期

论文作者：于澍 陈洁 黄启忠

文章页码：53 - 117

关键词：热解炭;反应温度;滞留时间;

摘    要：以等温法进行化学气相沉积(CVD),研究了过程参数(反应温度、碳源气浓度以及炉内气体的滞留时间)对热解炭结构的影响。实验表明,以丙烯为碳源气,保持炉内气体的流动为层流运动方式,在中等温度(880℃)、中等滞留时间(2.19s)以及碳源气与载气体积比为1∶3时,能得到粗糙层(RL)结构的热解炭;碳源气裂解为小分子后,在气相中通过加成、聚合、脱氢环化等反应生成苯及含有六元环的芳香烃,才能沉积得到结构较好的热解炭。