钛表面沉积Fe-Pd磁性薄膜的研究
来源期刊：稀有金属材料与工程2005年第8期
论文作者：王克光 程何祥 李争显 马波 周廉
关键词：TA1钛表面; Fe-Pd薄膜; 扩散;
摘 要：采用电弧离子镀设备,以高纯Fe靶和Pd靶为原料,在TA1工业纯钛表面先后沉积Fe,Pd2层单金属薄膜.对样品分别进行700℃～1100℃,保温0.5h～3h的真空退火处理,使Fe膜和Pd膜之间形成扩散层,制备FePd磁性膜.重点研究了Fe,Pd及钛衬底之间的互扩散机制,膜层结构,薄膜的相组成.结果表明:在700℃,0.5h处理后FePd薄膜的合金化较好;在900℃,1h处理后虽有FePd相形成,但基体中的Ti已经扩散至表面;温度高于900℃且保温时间长于1h处理,不利于FePd膜的形成.
王克光1，程何祥1，李争显1，马波1，周廉1
(1.西北有色金属研究院,陕西,西安,710016;
2.东北大学,辽宁,沈阳,110004)
摘要:采用电弧离子镀设备,以高纯Fe靶和Pd靶为原料,在TA1工业纯钛表面先后沉积Fe,Pd2层单金属薄膜.对样品分别进行700℃～1100℃,保温0.5h～3h的真空退火处理,使Fe膜和Pd膜之间形成扩散层,制备FePd磁性膜.重点研究了Fe,Pd及钛衬底之间的互扩散机制,膜层结构,薄膜的相组成.结果表明:在700℃,0.5h处理后FePd薄膜的合金化较好;在900℃,1h处理后虽有FePd相形成,但基体中的Ti已经扩散至表面;温度高于900℃且保温时间长于1h处理,不利于FePd膜的形成.
关键词:TA1钛表面; Fe-Pd薄膜; 扩散;
【全文内容正在添加中】
