磁控溅射制备 YBCO 超导薄膜的AFM研究
来源期刊：稀有金属2001年第6期
论文作者：吴柏枚 林晨光 李季 冯稷 华志强 王小平 刘援 王霈文
关键词：磁控溅射; YBCO; 薄膜; 表面形貌;
摘 要：采用中空柱阴极直流磁控溅射装置制备 YBCO 超导薄膜.应用原子力显微镜(AFM)研究了在最佳工艺条件下沉积在 LaAlO3 和 Zr(Y)O2 上的具有 c 轴取向的 YBCO 超导薄膜及其相应衬底的表面形貌.生长的 YBCO 膜都具有较好的表面结构.在 LaAlO3 单晶衬底上的 YBCO 膜形成大颗粒岛状结构,颗粒生长整齐,尺寸大小均匀;生长在单晶 Zr(Y)O2 上的 YBCO 膜则形成起伏较大的层状与岛状生长的混合结构,这些差别的产生与衬底的初始状况及制备过程中膜与衬底的界面作用有关.分析了形成超导薄膜不同表面形貌的原因,从生长机理角度讨论了表面形貌与缺陷和位错的形成机制.
吴柏枚1，林晨光2，李季2，冯稷3，华志强2，王小平2，刘援2，王霈文2
(1.中国科技大学二系;
2.北京有色金属研究总院;
3.中国科学院物理研究所)
摘要:采用中空柱阴极直流磁控溅射装置制备 YBCO 超导薄膜.应用原子力显微镜(AFM)研究了在最佳工艺条件下沉积在 LaAlO3 和 Zr(Y)O2 上的具有 c 轴取向的 YBCO 超导薄膜及其相应衬底的表面形貌.生长的 YBCO 膜都具有较好的表面结构.在 LaAlO3 单晶衬底上的 YBCO 膜形成大颗粒岛状结构,颗粒生长整齐,尺寸大小均匀;生长在单晶 Zr(Y)O2 上的 YBCO 膜则形成起伏较大的层状与岛状生长的混合结构,这些差别的产生与衬底的初始状况及制备过程中膜与衬底的界面作用有关.分析了形成超导薄膜不同表面形貌的原因,从生长机理角度讨论了表面形貌与缺陷和位错的形成机制.
关键词:磁控溅射; YBCO; 薄膜; 表面形貌;
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