化学气相沉积金刚石薄膜生长的原位反射率测量
来源期刊：功能材料与器件学报2001年第3期
论文作者：骆金龙 应萱同
关键词：CVD; 金刚石薄膜; 原位测量; 反射率;
摘 要：报道了化学气相沉积金刚石薄膜生长的原位反射率测量，提出了监控金刚石薄膜生长的激光反射多光束干涉的数学模型。通过原位反射率的测量，精确监控了金刚石薄膜的生长厚度,成功地制备了红外增透膜。这种方法的测量装置简单、紧凑而且可靠。
骆金龙1，应萱同1
(1.复旦大学信息学院光科学与工程系,)
摘要:报道了化学气相沉积金刚石薄膜生长的原位反射率测量，提出了监控金刚石薄膜生长的激光反射多光束干涉的数学模型。通过原位反射率的测量，精确监控了金刚石薄膜的生长厚度,成功地制备了红外增透膜。这种方法的测量装置简单、紧凑而且可靠。
关键词:CVD; 金刚石薄膜; 原位测量; 反射率;
【全文内容正在添加中】
