用于液晶显示器的低温多晶硅玻璃基板的研究现状及发展趋势

韩娜^1,2，石丽芬^1,2，王萍萍^1,2，曹欣^1,2，刘灿¹，马立云^1,2

1. 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司2. 浮法玻璃新技术国家重点实验室

摘 要：目前,电子信息产品应用广泛,液晶显示器是电子产品的必备元件。低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器（LTPS TFTLCD）因具有解析度高、响应速度快、能耗低、画质高、性能高等优势而成为继非晶硅之后的新一代有源矩阵液晶显示器。由于LTPS高温制程要求玻璃基板具有较高的应变点和软化点,对玻璃的实际生产提出较大挑战。目前LTPS玻璃基板市场集中度很高,技术基本被国外厂商垄断。因此,开发具有自主知识产权的LTPS玻璃基板具有突破性的意义。本文详细介绍了LTPS TFT-LCD用玻璃基板的组成、性能及制备方法,指出了玻璃基板制备的工艺难点。归纳了玻璃基板的国内外研究现状,分析了玻璃基板的发展趋势及应用前景,为我国自主研发生产LTPS TFT-LCD用玻璃基板提供参考。

关键词：玻璃基板;低温多晶硅;薄膜晶体管;液晶显示器;