离子束溅射沉积Fe/Si多层膜法合成β-FeSi₂薄膜的研究

来源期刊：功能材料2010年第5期

论文作者：张娟 沈鸿烈 鲁林峰 唐正霞 江丰 李斌斌 刘恋慈 沈洲

文章页码：886 - 1779

关键词：β-FeSi2;离子束溅射沉积;Fe/Si多层膜;石英衬底;

摘    要：采用离子束溅射沉积Fe/Si多层膜的方法在石英衬底上制备了β-FeSi2薄膜,研究了不同厚度比的Fe/Si多层膜对β-FeSi2薄膜的结构性能、形貌及光学性能的影响。结果表明,厚度比为Fe（2nm）/Si（7.4nm）的多层膜在退火后完全生成了β-FeSi2相,表面致密均匀,其光学带隙为0.84eV,能量为1.0eV光子的吸收系数>105cm-1。