Pr掺杂对ZnO透明导电薄膜光电性能的影响
来源期刊：材料导报2015年第8期
论文作者：李海金 孟洁 刘义 张蓓 程干
文章页码：11 - 15
关键词：溶胶-凝胶法;ZnO∶Pr薄膜;透明导电薄膜;
摘 要：采用溶胶-凝胶法在石英玻璃基片上制备出了Pr掺杂ZnO透明导电薄膜,研究了Pr掺杂对ZnO透明导电薄膜结构、形貌、光学和电学性能的影响。实验结果表明,Zn1-xPrxO薄膜均为纤锌矿结构,当Pr掺杂含量为1%时,Zn1-xPrxO薄膜的结晶质量最好、可见光平均透过率最高、电阻率最低,具有最佳的光电综合性能。
李海金，孟洁，刘义，张蓓，程干
安徽工业大学数理科学与工程学院光电信息材料与技术研究所
摘 要：采用溶胶-凝胶法在石英玻璃基片上制备出了Pr掺杂ZnO透明导电薄膜,研究了Pr掺杂对ZnO透明导电薄膜结构、形貌、光学和电学性能的影响。实验结果表明,Zn1-xPrxO薄膜均为纤锌矿结构,当Pr掺杂含量为1%时,Zn1-xPrxO薄膜的结晶质量最好、可见光平均透过率最高、电阻率最低,具有最佳的光电综合性能。
关键词：溶胶-凝胶法;ZnO∶Pr薄膜;透明导电薄膜;
