氨水和NaOH水溶液中生长ZnO薄膜的对比研究
来源期刊：稀有金属材料与工程2008年增刊第1期
论文作者：步绍静 靳正国 崔春翔 刘晓新
关键词：氧化锌薄膜; 氢氧化钠; 氨水; 生长;
摘 要：研究在Zn(NO3)2/NaOH和Zn(NO3)2/NH3H2O水溶液体系中ZnO薄膜的生长条件.通过X射线衍射仪和扫描电镜对薄膜进行了表征.两种碱性体系生长的薄膜是六方纤锌矿结构;晶体垂直于衬底沿(002)方向择优生长,随着生长溶液浓度的增大,薄膜柱晶的直径会逐渐增大.NaOH系统生长的ZnO薄膜厚度较薄,致密度较小,NH3H2O系统生长的薄膜中棒晶排列较为密集.对于NaOH生长系统,锌的浓度由于受到限制,导致生长的柱晶直径较小.氨水系统中由于[Zn(NH3)4]2+的缓冲作用,获得的ZnO晶粒直径可以在纳米到微米范围内变化.
步绍静1，靳正国2，崔春翔1，刘晓新2
(1.河北工业大学材料学院,天津,300130;
2.天津大学材料学院,天津,300072)
摘要:研究在Zn(NO3)2/NaOH和Zn(NO3)2/NH3H2O水溶液体系中ZnO薄膜的生长条件.通过X射线衍射仪和扫描电镜对薄膜进行了表征.两种碱性体系生长的薄膜是六方纤锌矿结构;晶体垂直于衬底沿(002)方向择优生长,随着生长溶液浓度的增大,薄膜柱晶的直径会逐渐增大.NaOH系统生长的ZnO薄膜厚度较薄,致密度较小,NH3H2O系统生长的薄膜中棒晶排列较为密集.对于NaOH生长系统,锌的浓度由于受到限制,导致生长的柱晶直径较小.氨水系统中由于[Zn(NH3)4]2+的缓冲作用,获得的ZnO晶粒直径可以在纳米到微米范围内变化.
关键词:氧化锌薄膜; 氢氧化钠; 氨水; 生长;
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