金属钽丝表面的X射线光电子能谱分析
来源期刊：稀有金属2006年第4期
论文作者：李人哲
关键词：钽; XPS; 原子浓度;
摘 要：用X射线光电子能谱(XPS)对金属钽丝表面进行了分析和研究.通过XPS全程宽扫描和窄扫描,分析了钽丝表面的元素成分和钽的化学态.分析结果表明,钽丝表面的元素成分为Ta,C,O,F,S,Cl,P,Fe,Si,Ni,Cr,Ti,Nb,W,Al.对溅射5 min前后的Ta 4f峰进行曲线拟合,分别得到2个Ta峰和4个Ta峰,对拟合后各个Ta峰的相对位置进行分析,可以得出以上各个Ta峰的化学态;钽丝表面钽的化学态分别为,溅射前 Ta2O5 和Ta5Si3,溅射后 Ta,Ta2O5,Ta5Si3.
摘要：用X射线光电子能谱(XPS)对金属钽丝表面进行了分析和研究.通过XPS全程宽扫描和窄扫描,分析了钽丝表面的元素成分和钽的化学态.分析结果表明,钽丝表面的元素成分为Ta,C,O,F,S,Cl,P,Fe,Si,Ni,Cr,Ti,Nb,W,Al.对溅射5 min前后的Ta 4f峰进行曲线拟合,分别得到2个Ta峰和4个Ta峰,对拟合后各个Ta峰的相对位置进行分析,可以得出以上各个Ta峰的化学态;钽丝表面钽的化学态分别为,溅射前 Ta2O5 和Ta5Si3,溅射后 Ta,Ta2O5,Ta5Si3.
关键词：钽; XPS; 原子浓度;
Abstract:
Key words:
