Si₃N₄添加量对熔融石英坩埚在铸锭过程中析晶的影响

来源期刊：耐火材料2016年第4期

论文作者：刘金秋 彭立华 秦善

文章页码：248 - 251

关键词：熔融石英坩埚;氮化硅;结晶度;α-方石英;

摘    要：为了研究Si₃N₄添加量对熔融石英坩埚在铸锭过程中结晶化的影响,首先在熔融石英浆料中添加不同量（质量分数为0、0.01%、0.05%和0.1%）的氮化硅粉,经注浆成型、140℃保温10 h干燥和1 150℃保温6 h烧后制备了熔融石英坩埚,然后在铸锭炉中进行最高温度为1 540℃,历时约52 h的多晶硅铸锭过程,最后用透射反射偏光显微镜观察铸锭后坩埚的显微结构,用X射线衍射仪分析铸锭后坩埚的物相组成,并计算其结晶度和晶粒尺寸。结果表明:随着Si₃N₄添加量的增加,铸锭后熔融石英坩埚中结晶相α-方石英的含量逐渐降低,晶粒尺寸逐渐减小。