具有快速分离效果多道微型气相色谱柱

来源期刊：分析试验室2014年第4期

论文作者：李臆 杜晓松 高超 郭攀 程璐婳 蒋亚东

文章页码：493 - 496

关键词：微气相色谱柱;多道柱;MEMS;快速分离;分离效率;

摘    要：采用MEMS技术设计了一种多道微型气相色谱柱,运用深槽刻蚀技术（DRIE）,对器件刻蚀深400μm,微型色谱柱总长度为50cm,每道宽40μm,4道多道柱。采用静态涂覆法对色谱柱涂覆SE-54固定相。将多道色谱柱与30 m长的安捷伦HP-5毛细管柱多道色谱柱比较,烷烃混合物在两种柱内都被完全分离,混合物在多道柱内的保留时间比在毛细管柱内缩短了两倍,塔板数达到15342 plates/m,是毛细管柱的3倍。多道色谱柱被用于分离苯,甲苯及苯酚致癌组分,所有组分在1 min之内被完全分离。在时间上比之前报道的6 m长微型色谱柱缩短了3倍,实现了快速分离效果。