AlN陶瓷基片烧结曲线的研究与优化

来源期刊：有色金属(冶炼部分)2018年第7期

论文作者：吕帅帅 倪威 倪红军

文章页码：62 - 66

关键词：AlN陶瓷基片;液相烧结;保温时间;烧结温度;烧结曲线;

摘    要：研究了AlN陶瓷基片烧结曲线中液相烧结升温速率、保温时间、烧结温度对基片性能的影响。测定不同液相烧结升温速率下试样的翘曲度,确定最佳升温速率范围为0.2~0.5℃/min;同时,根据不同保温时间下试样密度的变化优选保温时间为5h,并协调出最高烧结温度为1 830℃。通过对比烧结曲线优化前后AlN陶瓷基片主要性能及组织结构,结果表明烧结曲线优化后效果明显。