水基凝胶流延成型四方多晶氧化锆薄膜的烧结与性能
来源期刊：稀有金属材料与工程2005年第11期
论文作者：谭强强 唐子龙 张中太
关键词：四方多晶氧化锆; 薄膜; 水基凝胶流延; 烧结;
摘 要：采用水基凝胶流延工艺制备四方多晶氧化锆薄膜,确定合理的烧成制度,并考察薄膜的显微结构与烧结性能.结果表明,水基凝胶流延成型的氧化锆薄膜坯体结构均匀,其烧成过程可以将排胶和烧结过程一次完成,不需要单独的排胶过程,这大幅度简化了坯体的烧成工艺过程,同时坯片经1733 K保温6 h可获得结构致密的四方多晶氧化锆薄膜.
谭强强1，唐子龙2，张中太2
(1.中国科学院电工研究所,北京,100080;
2.清华大学,新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084)
摘要:采用水基凝胶流延工艺制备四方多晶氧化锆薄膜,确定合理的烧成制度,并考察薄膜的显微结构与烧结性能.结果表明,水基凝胶流延成型的氧化锆薄膜坯体结构均匀,其烧成过程可以将排胶和烧结过程一次完成,不需要单独的排胶过程,这大幅度简化了坯体的烧成工艺过程,同时坯片经1733 K保温6 h可获得结构致密的四方多晶氧化锆薄膜.
关键词:四方多晶氧化锆; 薄膜; 水基凝胶流延; 烧结;
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