自由面平整化非晶合金Fe₆₇Co₁₈Si₁₁B₄的软磁性能

丁燕红¹，薛鹏鹤¹，李岩²，马叙²

1. 天津理工大学电气电子工程学院天津市薄膜电子与通讯器件重点实验室2. 天津理工大学材料科学与工程学院天津市金属材料近净成形技术工程中心

摘 要：采用单辊熔体急冷法制备Fe₆₇Co₁₈Si₁₁B₄非晶合金,并对其自由面进行表面平整化,经去应力退火后研究改变自由面粗糙度对磁性的影响。结果发现,自由面平整化使Fe₆₇Co₁₈Si₁₁B₄非晶合金的自由面粗糙度由原来的24. 26 nm降低到5. 53 nm;自由面表面平整化降低了Fe67Co18-Si11B4非晶软磁合金的矫顽力、表面杂散场、内应力,是一种既可以提高Fe₆₇Co₁₈Si₁₁B₄非晶软磁合金的静态磁性,又提高其高频磁性的低成本、低功耗方法。

关键词：软磁合金;表面平整化;磁谱;