Lanxide技术合成含烧结助剂的复合AlN粉体
来源期刊：无机材料学报2003年第6期
论文作者：周美玲 林志浪 郑新和 王群
关键词：AlN粉体; Lanxide技术; 铝合金; 烧结助剂;
摘 要：高纯度的氮气中,以Al-Mg-Y合金为母合金,利用Lanxide技术合成了含烧结助剂Y2O3的复合AlN粉体.通过扫描电镜、X射线衍射、粒径分析及化学成分分析等检测手段对氮化产物进行表征.实验结果表明,合金氮化反应完全,氮化产物疏松易于粉化.粉化后获得的复合AlN粉体具有纯度高,氧杂质含量低,粒度细小等优点.
周美玲1，林志浪2，郑新和3，王群1
(1.北京工业大学材料科学与工程学院,北京,100022;
2.中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室,上海,200050;
3.中国科学院半导体研究所,北京,100083)
摘要:高纯度的氮气中,以Al-Mg-Y合金为母合金,利用Lanxide技术合成了含烧结助剂Y2O3的复合AlN粉体.通过扫描电镜、X射线衍射、粒径分析及化学成分分析等检测手段对氮化产物进行表征.实验结果表明,合金氮化反应完全,氮化产物疏松易于粉化.粉化后获得的复合AlN粉体具有纯度高,氧杂质含量低,粒度细小等优点.
关键词:AlN粉体; Lanxide技术; 铝合金; 烧结助剂;
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