基于电场力显微镜的聚酰亚胺表面电荷

王春香¹，孙志²，陈丽梅¹，陈佰树¹

1. 黑龙江八一农垦大学理学院2. 黑龙江省电介质工程国家重点实验室培育基地(哈尔滨理工大学)

摘 要：为了研究电介质材料在微纳米尺度下表面电荷产生的原因,为纳米电介质材料的发展提供实验分析基础,本文利用电场力显微镜（Electrostatic Force Microscope,EFM）在微纳米尺度下对聚酰亚胺薄膜表面电荷的起因及特性进行了研究。研究表明:采用导电探针施加偏置电压,摩擦接触聚酰亚胺薄膜表面,在微纳米区域内可产生稳定的电荷分布;薄膜的接触电势差约为-4.0V;负电压更易在聚酰亚胺表面注入电荷;针尖运动速度对聚酰亚胺表面电荷的产生影响并不显著。

关键词：电场力显微镜;表面电荷;聚酰亚胺;接触电势差;