Fe-Ta-N纳米软磁薄膜的结构和磁性
来源期刊：磁性材料及器件1999年第1期
论文作者：郑代顺 余晋岳 魏福林 马斌 杨正
关键词：Fe-Ta-N; 软磁特性; 纳米晶粒; 间隙原子;
摘 要：用磁控溅射法在Ar+N2混合气氛中制备了性能优异的具有纳米结构的Fe-Ta-N软磁薄膜.氮原子以间隙原子的形式进入纳米形态的α-Fe的晶格中,并引起了相应的晶格形变.随氮分压(pN2)的提高,α-Fe晶粒的尺寸迅速减小,在交换耦合作用下,表现出优异的软磁性能,氮分压较高时(pN27%),Ta原子和N原子将形成Ta3N5化合物相,导致薄膜软磁性能的相应降低.
郑代顺1，余晋岳2，魏福林1，马斌1，杨正1
(1.兰州大学磁性材料研究所,兰州,730000;
2.上海交通大学信息存贮中心,上海,200030)
摘要:用磁控溅射法在Ar+N2混合气氛中制备了性能优异的具有纳米结构的Fe-Ta-N软磁薄膜.氮原子以间隙原子的形式进入纳米形态的α-Fe的晶格中,并引起了相应的晶格形变.随氮分压(pN2)的提高,α-Fe晶粒的尺寸迅速减小,在交换耦合作用下,表现出优异的软磁性能,氮分压较高时(pN27%),Ta原子和N原子将形成Ta3N5化合物相,导致薄膜软磁性能的相应降低.
关键词:Fe-Ta-N; 软磁特性; 纳米晶粒; 间隙原子;
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