基于导电AFM类金刚石膜表面改性研究
来源期刊：功能材料与器件学报2004年第1期
论文作者：蔡兰 朱守星 杨继昌 范真 丁建宁 李长生
关键词：AFM; DLC; 表面改性; 力电耦合;
摘 要：用导电原子力显微镜(AFM)针对宏观上绝缘,微观上由导电相sp2和绝缘相sp3混合的类金刚石(DLC)膜,进行表面改性的研究,尤其观察DLC膜表面施加电压前后形貌变化.实验表明,当直流电压加在针尖上,DLC膜形貌未发生变化,而电压施加在样品表面则出现明显纳米加工凹坑.解释了凹坑的"蝴蝶坑"形成原因;对DLC膜力电耦合实验表明,在一定临界压力之下,随针尖对样品作用力的加大,凹坑的深度随之增加.
蔡兰1，朱守星1，杨继昌1，范真1，丁建宁1，李长生1
(1.江苏大学微纳米技术研究中心,江苏,镇江,212013)
摘要:用导电原子力显微镜(AFM)针对宏观上绝缘,微观上由导电相sp2和绝缘相sp3混合的类金刚石(DLC)膜,进行表面改性的研究,尤其观察DLC膜表面施加电压前后形貌变化.实验表明,当直流电压加在针尖上,DLC膜形貌未发生变化,而电压施加在样品表面则出现明显纳米加工凹坑.解释了凹坑的"蝴蝶坑"形成原因;对DLC膜力电耦合实验表明,在一定临界压力之下,随针尖对样品作用力的加大,凹坑的深度随之增加.
关键词:AFM; DLC; 表面改性; 力电耦合;
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