衬底材料和溅射方法对CNx薄膜膜基结合力的影响
来源期刊：机械工程材料2006年第12期
论文作者：毕凯 陈志刚 陈春 刘军
关键词：磁控溅射; 衬底; CNx薄膜; 结合力;
摘 要：分别将W18Cr4V高速钢和YG8硬质合金作为衬底材料,用直流磁控溅射和射频磁控溅射法制备了CNx薄膜,用划痕法测定了薄膜和衬底材料之间的膜基结合力.结果表明:YG8硬质合金作为衬底材料时薄膜的膜基结合力较高;对YG8硬质合金衬底材料进行适当的腐蚀处理或溅射一层TiN中间层,薄膜的膜基结合力明显提高;对于两种衬底材料,射频磁控溅射法制备的薄膜膜基结合力明显高于直流磁控溅射法制备的薄膜.
毕凯1，陈志刚2，陈春3，刘军3
(1.镇江船艇学院物理教研室,江苏,镇江,212003;
2.江苏工业学院,江苏,常州,213016;
3.江苏大学材料科学与工程学院,江苏,镇江,212013)
摘要:分别将W18Cr4V高速钢和YG8硬质合金作为衬底材料,用直流磁控溅射和射频磁控溅射法制备了CNx薄膜,用划痕法测定了薄膜和衬底材料之间的膜基结合力.结果表明:YG8硬质合金作为衬底材料时薄膜的膜基结合力较高;对YG8硬质合金衬底材料进行适当的腐蚀处理或溅射一层TiN中间层,薄膜的膜基结合力明显提高;对于两种衬底材料,射频磁控溅射法制备的薄膜膜基结合力明显高于直流磁控溅射法制备的薄膜.
关键词:磁控溅射; 衬底; CNx薄膜; 结合力;
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