注入氮离子的SiC涂层阻氢性能研究
来源期刊：材料保护2002年第2期
论文作者：黄宁康 邹觉生 王小英
关键词：离子束混合; 注入N+; SiC涂层; 阻氢涂层;
摘 要：利用离子束混合-离子注入(Ar+)和磁控溅射相结合的实验技术在HR-1不锈钢基体上制备了注入N+的SiC涂层,并用表面分析手段对所制备涂层的表面形貌、剖面形貌、相结构、表面成分、表面元素的化学态进行了分析.结果表明:制备的涂层结构致密、表面平整、膜层成分均匀;涂层与基体之间形成了一明显的过渡层,增强了涂层和基体之间的结合力.用二次离子质谱(SIMS)对充氘涂层的阻氢性能进行了定性分析.结果表明:涂层元素与氢形成稳定的化学键,抑制了氢的扩散和迁移,使得涂层具有一定的阻氢能力.
黄宁康1，邹觉生2，王小英2
(1.四川联合大学720所,四川成都,621000;
2.中国工程物理研究院,四川绵阳,621900)
摘要:利用离子束混合-离子注入(Ar+)和磁控溅射相结合的实验技术在HR-1不锈钢基体上制备了注入N+的SiC涂层,并用表面分析手段对所制备涂层的表面形貌、剖面形貌、相结构、表面成分、表面元素的化学态进行了分析.结果表明:制备的涂层结构致密、表面平整、膜层成分均匀;涂层与基体之间形成了一明显的过渡层,增强了涂层和基体之间的结合力.用二次离子质谱(SIMS)对充氘涂层的阻氢性能进行了定性分析.结果表明:涂层元素与氢形成稳定的化学键,抑制了氢的扩散和迁移,使得涂层具有一定的阻氢能力.
关键词:离子束混合; 注入N+; SiC涂层; 阻氢涂层;
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