W/Mo纳米多层膜的界面结构与超硬效应
来源期刊：稀有金属材料与工程2003年第1期
论文作者：顾明元 韩增虎 李戈扬 田家万 张流强
关键词：W/Mo纳米多层膜; 界面结构; 超晶格; 超硬效应;
摘 要：研究了W/Mo纳米多层膜的微结构及超硬效应.W/Mo纳米多层膜采用磁控溅射技术制备,并采用XRD、TEM和显微硬度计研究了薄膜的微结构和硬度.结果表明,W/Mo纳米多层膜形成多晶外延生长的超晶格结构;界面共格畸变使W,Mo两调制层的晶面间距随调制周期的减小而相互接近,在多层膜中形成交变应力场,从而使薄膜得到强化.
顾明元1，韩增虎1，李戈扬1，田家万1，张流强1
(1.上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030)
摘要:研究了W/Mo纳米多层膜的微结构及超硬效应.W/Mo纳米多层膜采用磁控溅射技术制备,并采用XRD、TEM和显微硬度计研究了薄膜的微结构和硬度.结果表明,W/Mo纳米多层膜形成多晶外延生长的超晶格结构;界面共格畸变使W,Mo两调制层的晶面间距随调制周期的减小而相互接近,在多层膜中形成交变应力场,从而使薄膜得到强化.
关键词:W/Mo纳米多层膜; 界面结构; 超晶格; 超硬效应;
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