电化学法制备的CoFe2O4薄膜
来源期刊：磁性材料及器件2008年第5期
论文作者：钟智勇 付若鸿 吴卫波 查杰 张怀武
关键词：CoFe2O4薄膜; 电镀; 薄膜结构; 磁性能;
摘 要：首先在硫酸盐溶液中由电镀法制备CoFe2合金薄膜,然后采用阳极氧化法在碱性溶液中氧化CoFe2合金薄膜制备CoFe2O4薄膜,再在空气气氛中、600℃退火3h.用原子分光光度计(AAS)法测量合金中Co2+、Fe2+的含量.由质量法测定铁钴合金薄膜的厚度,研究了电镀CoFe2合金薄膜的工艺条件(电压、时间、温度)对CoFe2薄膜厚度的影响.分别用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(AFM)和振动样品磁强计(VSM)观测薄膜的相成分、表面形貌和磁性能.结果表明,制备的CoFe2O4薄膜具有尖晶石结构,退火促进了CoFe2O4薄膜的结晶,降低了饱和磁化强度,但增大了矫顽力.
钟智勇1，付若鸿1，吴卫波1，查杰1，张怀武1
(1.电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都,610054)
摘要:首先在硫酸盐溶液中由电镀法制备CoFe2合金薄膜,然后采用阳极氧化法在碱性溶液中氧化CoFe2合金薄膜制备CoFe2O4薄膜,再在空气气氛中、600℃退火3h.用原子分光光度计(AAS)法测量合金中Co2+、Fe2+的含量.由质量法测定铁钴合金薄膜的厚度,研究了电镀CoFe2合金薄膜的工艺条件(电压、时间、温度)对CoFe2薄膜厚度的影响.分别用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(AFM)和振动样品磁强计(VSM)观测薄膜的相成分、表面形貌和磁性能.结果表明,制备的CoFe2O4薄膜具有尖晶石结构,退火促进了CoFe2O4薄膜的结晶,降低了饱和磁化强度,但增大了矫顽力.
关键词:CoFe2O4薄膜; 电镀; 薄膜结构; 磁性能;
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