永磁薄膜材料的研究进展
来源期刊：磁性材料及器件2016年第1期
论文作者：郭韦 倪经 周俊 曹照亮 陈彦
文章页码：61 - 66
关键词：永磁薄膜;工艺;性能;应用;
摘 要：永磁薄膜是相关电子器件及系统小型化、集成化的关键材料。首先概括介绍了永磁薄膜的常用制备技术,包括电沉积、溅射、激光脉冲沉积等方法。在此基础上,总结了各种永磁薄膜(金属合金、铁氧体、稀土化合物等)的国内外研究进展,以及在相关器件上的应用。最后展望了永磁薄膜的发展趋势和前景。
郭韦，倪经，周俊，曹照亮，陈彦
西南应用磁学研究所
摘 要：永磁薄膜是相关电子器件及系统小型化、集成化的关键材料。首先概括介绍了永磁薄膜的常用制备技术,包括电沉积、溅射、激光脉冲沉积等方法。在此基础上,总结了各种永磁薄膜(金属合金、铁氧体、稀土化合物等)的国内外研究进展,以及在相关器件上的应用。最后展望了永磁薄膜的发展趋势和前景。
关键词：永磁薄膜;工艺;性能;应用;
