二氧化铪晶态薄膜的自组装制备
来源期刊：材料导报2009年第6期
论文作者：谈国强 苗鸿雁 刘剑 贺中亮
关键词：薄膜; 自组装单层膜; HfO2;
摘 要：利用自组装单层膜技术,在玻璃基板上生长有机硅烷单分子膜层,以Hf(SO4)2·4H2O和HCl配制HfO2前驱液,通过液相沉积在硅烷的功能性官能团上诱导生成二氧化铪薄膜.通过接触角测试仪、AFM、SEM及XRD等手段对膜材料的表面形貌和结构进行了研究分析.结果表明,利用自组装单层法成功制备出立方型的HfO2晶态薄膜,薄膜表面均一.
谈国强1，苗鸿雁1，刘剑1，贺中亮1
(1.陕西科技大学材料科学与工程学院,西安,710021)
摘要:利用自组装单层膜技术,在玻璃基板上生长有机硅烷单分子膜层,以Hf(SO4)2·4H2O和HCl配制HfO2前驱液,通过液相沉积在硅烷的功能性官能团上诱导生成二氧化铪薄膜.通过接触角测试仪、AFM、SEM及XRD等手段对膜材料的表面形貌和结构进行了研究分析.结果表明,利用自组装单层法成功制备出立方型的HfO2晶态薄膜,薄膜表面均一.
关键词:薄膜; 自组装单层膜; HfO2;
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