光学薄膜表面微细缺陷在线检测方法研究

来源期刊：机械设计与制造2011年第10期

论文作者：钟球盛 胡广华 李静蓉

文章页码：102 - 104

关键词：光学薄膜;缺陷检测;计算机视觉;

摘    要：为了对光学薄膜进行精密光学检测,需要采用数个具有高解析度的线阵CCD相机进行光学薄膜缺陷图像的同步采集。基于计算机视觉的理论,提出了一种有效的自动质量监测方案,实现对光学薄膜表面微细缺陷项目的检测,并根据检测结果驱动打标机对光学薄膜缺陷进行自动标识和定位,该方法具有高精度、实时、在线和非接触的显著优势。探索性实验结果表明,采用该方法可获得光学薄膜表面缺陷的清晰图像,缺陷的细节能够得到很好的展现,并且能够完成缺陷特征的提取与识别。