电弧增强磁控溅射制备的纳米复合Si-C-N超硬薄膜的结构与性能

来源期刊：材料保护2013年第3期

论文作者：郑凤新

文章页码：55 - 58

关键词：AEMS;纳米复合Si-C-N超硬薄膜;显微结构;硬度;断裂韧性;摩擦系数;

摘    要：耐磨、韧性好的超硬薄膜工程应用价值大。采用电弧增强磁控溅射（AEMS）技术在GCr15轴承钢表面制备了纳米复合Si-C-N超硬薄膜,研究了薄膜的形貌、相组成、硬度、韧性和摩擦磨损性能。结果表明:薄膜中纳米SiC与Si3N4晶体弥散分布于C-C,C=C以及N-C组成的非晶相基体中,形成了纳米晶/非晶复合组织结构,显著提高了薄膜的硬度和韧性,增强了薄膜的抗摩擦磨损性能;薄膜的硬度为（36.5±3.9）GPa,断裂韧性为（4.15±0.28）MPa.m1/2,稳定摩擦系数为0.27左右。