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TiO2基氧化物半导体氧敏传感器的研究开发进展

来源期刊：功能材料与器件学报2001年第1期

论文作者：陈耐生沈水发林德娟黄金陵潘海波

关键词：TiO2基氧化物; 金红石相; 氧敏传感器;

摘要：综合介绍TiO2基氧化物半导体氧敏传感器的研究发展历史和TiO2材料的特性，比较了各种氧敏机理、制备方法、传感器的氧敏特性，就制备方法－材料微观结构－氧敏性能关系中的几个重要问题，进行了深入的探讨，并对今后的研究开发与产业化，结合本课题组的研究工作，提出了几点建议。

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陈耐生¹，沈水发¹，林德娟¹，黄金陵¹，潘海波¹

(1.福州大学功能材料研究所,)

摘要:综合介绍TiO2基氧化物半导体氧敏传感器的研究发展历史和TiO2材料的特性，比较了各种氧敏机理、制备方法、传感器的氧敏特性，就制备方法－材料微观结构－氧敏性能关系中的几个重要问题，进行了深入的探讨，并对今后的研究开发与产业化，结合本课题组的研究工作，提出了几点建议。

关键词:TiO2基氧化物; 金红石相; 氧敏传感器;

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