钢铁表面化学气相沉积TiN的过渡层
来源期刊：工程科学学报1993年第2期
论文作者：马肇曾 尹秀兰 丁建国
文章页码：230 - 234
关键词：化学气相沉积;氮化钛;过渡层;
摘 要：研究了3种钢铁样品表面在化学气相沉积TiN时的过渡层、研究中发现Ti与N可以通过TiN涂层与铁形成过渡层,而钢中原有的C也可在气相沉积时向外扩散至TiN涂层中。在TiN沉积过程中,由于N在γ-Fe中的扩散速率远高于Ti,所以纯铁样品的过渡层包括x-Fe+Fe2Ti+Fe2N+TiN与x-Fe+Fe2N两个分层。
马肇曾，尹秀兰，丁建国
摘 要：研究了3种钢铁样品表面在化学气相沉积TiN时的过渡层、研究中发现Ti与N可以通过TiN涂层与铁形成过渡层,而钢中原有的C也可在气相沉积时向外扩散至TiN涂层中。在TiN沉积过程中,由于N在γ-Fe中的扩散速率远高于Ti,所以纯铁样品的过渡层包括x-Fe+Fe2Ti+Fe2N+TiN与x-Fe+Fe2N两个分层。
关键词：化学气相沉积;氮化钛;过渡层;
