AlN薄膜取向程度与实验参数间的函数关系
来源期刊：无机材料学报2001年第6期
论文作者：张富强 许小红 张聪杰 武海顺 李佐宜
关键词：氮化铝薄膜; 实验参数; 择优取向; 函数关系;
摘 要：反应溅射制备AlN薄膜时,薄膜的择优取向与众多的实验参数有关.建立晶面择优取向程度与溅射气压、靶基距、靶功率等重要实验参数之间的函数关系,避免了研究每一项参数对薄膜择优取向影响所需的实验次数的繁多,得到制备择优取向程度最佳薄膜的实验参数.同时,通过用该函数关系式计算得到结果与实验结果比较,发现两者具有很好的一致性.这一系列函数关系式的建立,对进一步设计新的实验方案、验证已有的实验结果以及制备良好择优取向薄膜都有着重要意义.
张富强1，许小红1，张聪杰1，武海顺1，李佐宜2
(1.山西师范大学化学系,;
2.华中科技大学电子科学与技术系,)
摘要:反应溅射制备AlN薄膜时,薄膜的择优取向与众多的实验参数有关.建立晶面择优取向程度与溅射气压、靶基距、靶功率等重要实验参数之间的函数关系,避免了研究每一项参数对薄膜择优取向影响所需的实验次数的繁多,得到制备择优取向程度最佳薄膜的实验参数.同时,通过用该函数关系式计算得到结果与实验结果比较,发现两者具有很好的一致性.这一系列函数关系式的建立,对进一步设计新的实验方案、验证已有的实验结果以及制备良好择优取向薄膜都有着重要意义.
关键词:氮化铝薄膜; 实验参数; 择优取向; 函数关系;
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