飞秒激光加热引起相变过程的研究进展

刘向力¹，钟占荣²，唐小娟³

(1.哈尔滨工业大学深圳研究生院,深圳,518055;
2.中国科学院香港中文大学深圳先进集成技术研究所,深圳,518054;
3.哈尔滨工业大学深圳研究生院,深圳518055;
4.中国科学院香港中文大学深圳先进集成技术研究所,深圳518054)

摘要:飞秒激光因其在烧蚀固体材料时的独特机制,具有高精度高微结构的能力,表现出广阔的工程应用前景,因此近年来关于飞秒激光的研究受到广泛关注.报道了近年来飞秒激光的实验测定方法,综述了用于研究由激光加热引起的微尺度热传导的几种数值模型和方法,着重描述了分子动力学数值模拟方法,分析总结了现有的烧蚀机制,并展望了其发展前景.

关键词:飞秒激光; 微尺度; 热传导; 分子动力学; 相变;

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