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磁控溅射羟基磷灰石薄膜的研究现状与展望

来源期刊：材料导报2006年第4期

论文作者：陈敏张庆瑜李长敏杨名宇

关键词：磁控溅射; 羟基磷灰石; 薄膜;

摘要：羟基磷灰石是具有良好生物相容性的骨修复和替代材料.介绍了用磁控溅射法制备羟基磷灰石薄膜的研究现状,由实验机理和薄膜的性能表征分析了影响薄膜质量的因素,并讨论了制备过程中存的一些问题以及今后的发展方向.

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陈敏¹，张庆瑜¹，李长敏¹，杨名宇¹

(1.大连轻工业学院材料科学与工程系,大连,116034)

摘要:羟基磷灰石是具有良好生物相容性的骨修复和替代材料.介绍了用磁控溅射法制备羟基磷灰石薄膜的研究现状,由实验机理和薄膜的性能表征分析了影响薄膜质量的因素,并讨论了制备过程中存的一些问题以及今后的发展方向.

关键词:磁控溅射; 羟基磷灰石; 薄膜;

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