PDC-SiCN陶瓷基无线无源温度传感器的制备

李来超¹，余煜玺²，黄奇凡²，韩清凯³

1. 福建省长汀金龙稀土有限公司2. 厦门大学材料学院材料科学与工程系福建省特种先进材料实验室3. 大连理工大学机械工程学院

摘 要：为了解决航空发动机的温度检测问题,提出了一种以聚合物先驱体陶瓷SiCN（PDC-SiCN）为传感器介质材料的无线无源温度传感器,并搭建了无线无源温度传感器的测试系统。PDC-SiCN陶瓷基无线无源温度传感器是以聚合物先驱体陶瓷SiCN（PDC-SiCN）作为传感器介质材料,以金属铂作为谐振腔材料。分析了PDCSiCN陶瓷基无线无源温度传感器的谐振频率与测试温度之间的关系,传感器的测试温度达到了610℃。研究发现,PDC-SiCN陶瓷基无线无源温度传感器的谐振频率随测试温度升高呈单调递减变化,通过对传感器的谐振频率与温度的关系进行多项式拟合,610℃时传感器的灵敏度为0.4705 MHz/℃。PDC-SiCN陶瓷基无线无源传感器在高温恶劣环境具有广阔的应用前景。

关键词：聚合物先驱体陶瓷;SiCN;无线无源;温度传感器;