不同晶体结构氧化钛薄膜性能研究

黄楠¹，刘艳文¹，徐禄祥¹，冷永祥¹，周红芳¹

(1.西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官表面工程重点实验室,四川,成都,610031)

摘要:用非平衡磁控溅射技术分别制备了锐钛矿、金红石、锐钛矿和金红石共存结构的氧化钛薄膜.用X射线衍射(XRD)分析薄膜的晶体结构,血小板粘附和凝血因子实验研究薄膜的血液相容性,分光光度计和接触角测量法测试薄膜表面物化性质.研究表明,氧化钛薄膜具有宽禁带的半导体特性,血液相容性优于热解碳.金红石结构氧化钛薄膜由于其与血浆白蛋白、血浆纤维蛋白原、血液及水之间有较小的界面张力,自身较低的表面能色散分量与极性分量的比值,加之其宽禁带宽度的n型半导体特性使其具有最优的血液相容性.

关键词:非平衡磁控溅射; 氧化钛薄膜; 血液相容性; 界面张力; 表面能; 半导体特性;

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