一种专门用于刀具的热丝CVD金刚石
来源期刊:超硬材料工程2018年第5期
论文作者:杨成武 刘晓 李卫
文章页码:43 - 46
关键词:CVD金刚石厚膜;孔洞缺陷;金刚石刀具;
摘 要:介绍了CVD金刚石厚膜的不同生长工艺的优缺点,并采用新型热丝CVD工艺生长出金刚石。新工艺生长出的热丝CVD金刚石具有成核密度高、晶粒细小、组织致密、孔洞缺陷和杂质少等优点,是CVD金刚石刀具的理想材料。
杨成武,刘晓,李卫
摘 要:介绍了CVD金刚石厚膜的不同生长工艺的优缺点,并采用新型热丝CVD工艺生长出金刚石。新工艺生长出的热丝CVD金刚石具有成核密度高、晶粒细小、组织致密、孔洞缺陷和杂质少等优点,是CVD金刚石刀具的理想材料。
关键词:CVD金刚石厚膜;孔洞缺陷;金刚石刀具;