从光电子谱的峰背比及背景信号变化获得成分深度分布信息
来源期刊：材料科学与工程学报2002年第4期
论文作者：朱玲 季振国
关键词：光电子谱; 背景信号; 深度剖析;
摘 要：光电子谱中的背景信号包含样品的信息,但过去往往被忽略.通过对背景信号简单的分析,可以获得成分随深度变化的信息.本文介绍了如何利用光电子谱的背景信号获得元素在深度方向的分布情况.本文所述方法可以用于纳米镶嵌结构、包裹物、表面偏析、氧化、钝化等体系的非破坏性深度剖析研究.
朱玲1，季振国2
(1.浙江大学发展规划部,浙江,杭州,310027;
2.浙江大学硅材料国家重点实验室)
摘要:光电子谱中的背景信号包含样品的信息,但过去往往被忽略.通过对背景信号简单的分析,可以获得成分随深度变化的信息.本文介绍了如何利用光电子谱的背景信号获得元素在深度方向的分布情况.本文所述方法可以用于纳米镶嵌结构、包裹物、表面偏析、氧化、钝化等体系的非破坏性深度剖析研究.
关键词:光电子谱; 背景信号; 深度剖析;
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