激光喷射钎料球键合焊点热循环试验研究

王晓林¹，李明雨¹，王春青²

1. 哈尔滨工业大学深圳研究生院材料科学与工程学院2. 哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点试验室

摘 要：为研究激光喷射钎料球键合焊点的可靠性,用Sn3.0Ag0.5Cu钎料球对Au/Cu焊盘进行了激光喷射钎料键合试验,采用微强度测试仪、扫描电子显微镜、能谱分析仪研究了热循环条件对接头强度以及界面微观组织演变的影响.结果表明:采用激光喷射钎料键合技术焊盘表面Au层不能完全溶入钎料中,导致在界面处形成AuSn2+AuSn4多层金属间化合物结构;热循环处理可导致界面残余的Au层消失,并在原位附近形成以Au、Sn为主并固溶少Cu原子的反应层,引起整个反应层与Cu层的结合力下降.

关键词：激光喷射钎料键合;SnAgCu钎料;热循环试验;铜焊盘;