热丝法化学气相沉积金刚石膜
来源期刊：材料研究学报2000年增刊第1期
论文作者：黄荣芳 闻立时 张军旗 曹小明
关键词：热丝法; 金刚石膜; 分送; 混送;
摘 要：用热丝法沉积金刚石膜,分离送入氢气和甲烷,可以减少钨丝碳化,提高功率利用率.分送与混送相结合,可以制备晶体形态良好的金刚石膜.到达基材表面的活性粒子的数量是提高金刚石膜生长速率的关键.生长速率可达3.8μm/h,均匀区面积达400mm2.
黄荣芳1，闻立时1，张军旗1，曹小明1
(1.中国科学院金属研究所)
摘要:用热丝法沉积金刚石膜,分离送入氢气和甲烷,可以减少钨丝碳化,提高功率利用率.分送与混送相结合,可以制备晶体形态良好的金刚石膜.到达基材表面的活性粒子的数量是提高金刚石膜生长速率的关键.生长速率可达3.8μm/h,均匀区面积达400mm2.
关键词:热丝法; 金刚石膜; 分送; 混送;
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